納米壓痕儀是一種用于微納米尺度材料力學(xué)性能測試的高精度儀器，它通過記錄載荷與壓入深度的關(guān)系，能夠測量硬度、彈性模量、斷裂韌性等多種力學(xué)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、涂層、生物材料等領(lǐng)域的研發(fā)與質(zhì)量控制，是我司上海千實精密機(jī)電科技有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的測試設(shè)備，性價比高，售后服務(wù)齊全。

技術(shù)原理：

深度敏感壓痕技術(shù)，通過金剛石壓頭對樣品施加可控載荷，并同步高精度測量壓入深度，生成載荷-位移曲線，進(jìn)而基于力學(xué)模型計算性能參數(shù)。

符合標(biāo)準(zhǔn)：

ISO 14577-1:2015 金屬材料.硬度和材料參數(shù)的儀器壓痕試驗.第1部分:試驗方法

ISO 14577-2:2015 金屬材料.硬度和材料參數(shù)的儀器壓痕試驗.第2部分:試驗機(jī)的檢定和校準(zhǔn)

ISO 14577-3:2015 金屬材料.硬度和材料參數(shù)的儀器壓痕試驗.第3部分:硬度標(biāo)準(zhǔn)塊的校準(zhǔn)

ASTM E2546-2023 儀器壓痕試驗的標(biāo)準(zhǔn)實施規(guī)程

技術(shù)參數(shù)：

1.靜態(tài)加載模式最大加載載荷：80mN /400mN/1800mN/4800mN

2.動態(tài)加載模式DMA：0.1-100Hz

3.載荷分辨率：3nN

4.可實現(xiàn)的最小載荷：0.1mN

5.加載速率：0.04-12000mN/min

6.最大壓入深度(電容傳感器)： 250μm/1mm

7.位移分辨率：0.0003nm

8.快速壓痕功能：做100個mapping點只需5分鐘

9.熱飄逸<0.05nm/s(室溫條件下)

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體與微電子：

用于評估芯片中薄膜的硬度、彈性模量，以及銅柱凸點等互連結(jié)構(gòu)的界面結(jié)合強(qiáng)度。

涂層與表面工程：

檢測類金剛石涂層、PVD/CVD鍍層等硬質(zhì)或裝飾性涂層的硬度、耐磨性及膜基結(jié)合力。

生物與醫(yī)用材料：

表征骨組織、牙釉質(zhì)、水凝膠、植入材料等軟組織和生物材料的局部力學(xué)性能，部分儀器專為液體環(huán)境中的生物樣品測試設(shè)計。

航空航天與汽車：

評估陶瓷基復(fù)合材料、高溫合金、剎車片涂層等關(guān)鍵部件的力學(xué)性能。

新材料研發(fā)：

用于納米復(fù)合材料、高分子聚合物、MEMS器件等新型材料的性能研究。

上海千實精密機(jī)電科技有限公司成立于2012年，專注于研發(fā)、設(shè)計及生產(chǎn)紡織測試儀器，為學(xué)術(shù)研究單位及檢測機(jī)構(gòu)提供紡織測試儀器和服務(wù)，上海千實是目前國內(nèi)較有競爭力和研發(fā)實力的紡織檢測儀器廠家之一，研發(fā)團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師組成，我們本著全心全意為客戶服務(wù)，努力推動紡織檢測儀器技術(shù)革新而努力。